三氟化氮气体的纯化方法
基本信息
| 申请号 | CN200510085395.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1727279A | 公开（公告）日 | 2006-02-01 |
| 申请公布号 | CN1727279A | 申请公布日 | 2006-02-01 |
| 分类号 | C01B21/083(2006.01);C01B9/08(2006.01) | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 付嫚;李本东;隋希平 | 申请（专利权）人 | 派瑞科技有限公司 |
| 代理机构 | 邯郸市久天专利事务所 | 代理人 | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所;派瑞科技有限公司 |
| 地址 | 056027河北省邯郸市展览路17号袁晓燕 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种去除三氟化氮(NF3)气体中N2F2杂质的方法。以电解法制备的NF3气体含有0.1~2％的N2F2杂质气体，N2F2很不稳定，在高温下很容易分解。本发明利用其高温分解的特性，将一个装有铁、不锈钢、铜、镍、蒙乃尔或上述一种以上金属填料的裂解塔加热到100~400℃后通入含有N2F2杂质的NF3气体，使N2F2杂质分解去除。本发明方法能够很安全、有效地去除N2F2杂质而又不引起NF3气体的大量分解。 |
