一种管式流体控温的化学机械抛光盘专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种管式流体控温的化学机械抛光盘

基本信息

申请号	CN202020430992.2	申请日	-
公开（公告）号	CN211805516U	公开（公告）日	2020-10-30
申请公布号	CN211805516U	申请公布日	2020-10-30
分类号	B24B37/16(2012.01)I	分类	-
发明人	王家雄	申请（专利权）人	昂士特科技（深圳）有限公司
代理机构	深圳市中科创为专利代理有限公司	代理人	昂士特科技（深圳）有限公司
地址	518000广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园C3栋201
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种管式流体控温的化学机械抛光盘，抛光盘包括面板和底盘，底盘上表面开设有与盘旋管适配的凹槽，盘旋管嵌设在凹槽内，面板设置在底盘上且与盘旋管紧密抵接；底盘的下表面中部设置有连接座，连接座内开设有两端具有开口的连接腔，底盘设置在旋转轴上，旋转轴内开设有两端具有开口的流体通道，连接腔两端分别与流体通道和盘旋管的出口端连通；旋转轴通过防水轴承转动设置在圆筒底座上，第二进液管的一端穿设在旋转轴内；第一进液管位于连接腔内，第一进液管的一端连接盘旋管位于抛光盘中央的入口，另一端通过快速接口与第二进液管连接；圆筒底座上开设有与流体通道连通的流体出口。本实用新型技术方案旨在实现按照抛光要求被加热或冷却抛光盘。