基于薄膜衬底的柔性器件的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010439740.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111430291A | 公开（公告）日 | 2020-07-17 |
| 申请公布号 | CN111430291A | 申请公布日 | 2020-07-17 |
| 分类号 | H01L21/683;H01L27/12;H01L21/77 | 分类 | - |
| 发明人 | 王云翔;李瑾;冒薇;王丰梅 | 申请（专利权）人 | 苏州研材微纳科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州国诚专利代理有限公司 | 代理人 | 韩凤 |
| 地址 | 215121 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区11幢401室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种基于薄膜衬底的柔性器件的制备方法。其包括如下步骤：步骤1、在第一辅助支撑体上旋涂得到柔性薄膜第一衬底；步骤2、进行前烘工艺；步骤3、进行固化烘烤工艺；步骤4、旋涂得到柔性薄膜第一光刻胶层；步骤5、得到柔性薄膜第一光刻胶层窗口；步骤6、利用柔性薄膜第一光刻胶层以及柔性薄膜第一光刻胶层窗口制备所需的柔性薄膜第一金属层；步骤7、利用上述的柔性薄膜第一金属层在柔性薄膜第一衬底上形成柔性薄膜第一器件层；步骤8、将上述柔性薄膜第一衬底与第一辅助支撑体分离，形成所需的柔性器件。本发明能有效实现柔性器件的制备，与现有工艺兼容，降低生产成本，适应范围广，安全可靠。 |
