单片衬底用工艺夹具
基本信息
| 申请号 | CN202020464686.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211350613U | 公开（公告）日 | 2020-08-25 |
| 申请公布号 | CN211350613U | 申请公布日 | 2020-08-25 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;B25B11/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 李瑾;冒薇;王丰梅 | 申请（专利权）人 | 苏州研材微纳科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州国诚专利代理有限公司 | 代理人 | 韩凤 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区11幢401室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种工艺夹具，尤其是一种单片衬底用工艺夹具，属于衬底加工的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述单片衬底用工艺夹具，包括能支撑衬底的衬底托盘以及与所述衬底托盘固定连接的托盘手柄，在所述衬底托盘内设置若干漏液孔，所述漏液孔贯通衬底托盘；通过托盘手柄能带动衬底托盘上的衬底进行所需的运动，通过漏液孔加速液体流动，以平衡浸没在溶液内衬底上的液体压力。本实用新型结构紧凑，能满足单片衬底的手工处理需求，提高工艺中对衬底上薄膜结构的压力平衡保护，提高对单片衬底的手工处理便捷性，减少衬底在工艺中产生污染，提高对单片衬底处理的可靠性。 |
