微流控器件及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010439553.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111569964B | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN111569964B | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | B01L3/00（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 王云翔;李瑾;冒薇;王丰梅 | 申请（专利权）人 | 苏州研材微纳科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州国诚专利代理有限公司 | 代理人 | 韩凤 |
| 地址 | 215121江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区11幢401室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种微流控器件及其制备方法，属于微流控器件的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述微流控器件，包括微流道衬底以及位于所述微流道衬底正上方的玻璃片，在所述玻璃片邻近微流道衬底的一侧表面设置金属电极层，在微流道衬底邻近玻璃片的表面设置SU8支撑体以及与所述SU8支撑体适配的微流道；金属电极层能与SU8支撑体键合固定，玻璃片通过键合后的金属电极层与SU8支撑体支撑在微流道衬底上，玻璃片上的片体孔与微流道衬底上的微流道对应，片体孔贯通玻璃片，且片体孔与正对应的微流道连通。本发明结构紧凑，与现有工艺兼容，降低生产及使用成本，安全可靠。 |
