晶圆级气密封装方法

基本信息

申请号 CN201810695397.9 申请日 -
公开(公告)号 CN108821232B 公开(公告)日 2021-05-04
申请公布号 CN108821232B 申请公布日 2021-05-04
分类号 B81C1/00;B81C3/00 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 冒薇;王丰梅;段仲伟;李瑾;马冬月;赵书平;姚园;许爱玲 申请(专利权)人 苏州研材微纳科技有限公司
代理机构 南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 张涛
地址 215121 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区11幢401室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种封装方法,尤其是一种晶圆级气密封装方法,属于MEMS器件封装的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述晶圆级气密封装方法,所述气密封装方法包括如下步骤:步骤1、提供待键合的第一晶圆体以及第二晶圆体,并在第一晶圆体上旋涂均匀分布的陶瓷前驱体溶液,以利用所述陶瓷前驱体溶液得到覆盖于第一晶圆体上的键合膜层;步骤2、将上述第一晶圆体、第二晶圆体利用键合机进行真空键合,第二晶圆体通过键合膜层与第一晶圆体键合固定,以使得第二晶圆体与第一晶圆体气密封装连接。本发明能有效实现晶圆间的低温键合,键合的封装器件能满足高温工艺要求,保证MEMS真空封装器件的气密性和稳定性。