多个方片式衬底用工艺夹具
基本信息
| 申请号 | CN202020461557.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211867583U | 公开（公告）日 | 2020-11-06 |
| 申请公布号 | CN211867583U | 申请公布日 | 2020-11-06 |
| 分类号 | B25B11/00(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 李瑾;冒薇;王丰梅 | 申请（专利权）人 | 苏州研材微纳科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州国诚专利代理有限公司 | 代理人 | 韩凤 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区11幢401室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种工艺夹具，尤其是一种多个方片式衬底用工艺夹具，属于衬底加工的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述多个方片式衬底用工艺夹具，包括能同时收纳多个方片衬底的衬底托盘以及与所述衬底托盘固定连接的托盘手柄；所述衬底托盘包括两个对应分布的放片托，在每个放片托对应相邻的内侧均设置能与方片衬底适配的放片槽；通过两个放片托上相对应的放片槽形成能满足方片衬底竖向放置的衬底竖向嵌置槽，两个放片托间形成能收纳竖向放置的方片衬底端角的端角收纳腔。本实用新型结构紧凑，能同时满足多个衬底的手工处理需求，提高对多个衬底的手工处理便捷性，减少衬底在工艺中产生污染，提高对衬底处理中的可靠性。 |
