一体成型PTFE耐腐洁净槽
基本信息
| 申请号 | CN202022985356.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214099591U | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN214099591U | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱林 | 申请（专利权）人 | 浙江科赛新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 浙江永鼎律师事务所 | 代理人 | 陆永强 |
| 地址 | 313200浙江省湖州市德清县阜溪街道光明街9号（莫干山高新区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于半导体生产设备技术领域，涉及一种一体成型PTFE耐腐洁净槽。包括呈矩形且由PTFE材料制成一体成型的槽体，所述的槽体顶部开口，所述的槽体一侧设有至少一个进液口，在远离进液口的另一侧槽体上设有至少一个出液口，在进液口和出液口上分别设有进液接头和出液接头，所述的进液接头和出液接头与槽体一体成型。与现有的技术相比，本一体成型PTFE耐腐洁净槽的优点在于：1、设计合理，防止渗漏。2、耐腐蚀性好，有效的延长了使用寿命。3、便于拆装，节省了维护时间。 |
