一种异丙醇废液提纯方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202010889363.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113943209A | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN113943209A | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C07C29/76（2006.01）I;C07C31/10（2006.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 杨仕品;孙先淼 | 申请（专利权）人 | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215300江苏省苏州市昆山市玉山镇玉城南路3号12号厂房1F | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种异丙醇废液提纯方法，应用于半导体产品生产过程中去胶清洗和干燥产生的异丙醇废液，包括以下步骤：对异丙醇废液进行过滤，以去除废液中的部分光刻胶及颗粒物；将过滤后的异丙醇废液通入至蒸发模组进行加热蒸发，使得异丙醇‑水共沸物蒸发成气态，沸点较高的去胶液仍然保持液态，实现两者的气液分离；将所述异丙醇‑水共沸物的蒸汽通过渗透汽化膜分离模组，以分离异丙醇蒸汽和水蒸汽；冷却异丙醇蒸汽，以获得提纯后的液化异丙醇，本发明还提供一种利用异丙醇废液提纯方法的装置，由此，本发明可提取到纯度达到99.7％以上的异丙醇，实现循环利用，节约能源，避免了环境污染。 |
