一种石英管清洗干燥装置
基本信息
| 申请号 | CN202111279721.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113953276A | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN113953276A | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | B08B9/023（2006.01）I;B08B9/032（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 华斌;刘国强;宗君颖 | 申请（专利权）人 | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州友佳知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 储振 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种石英管清洗干燥装置，包括：底部具敞口的清洗罩与清洗罩沿垂直方向活动插接装配的底座，设置于底座内并箍持石英管的承载台，以及第一驱动装置；清洗罩的顶部内置一清洗帽及驱动清洗帽作升降运动的第二驱动装置，清洗帽遮蔽石英管的弧形封闭端并与石英管的弧形封闭端分离，清洗帽的内壁面设置侧向连续间隔布置的若干第一喷嘴；底座嵌设回旋密封装置，承载台垂直设置内喷管，内喷管沿垂直方向连续贯穿承载台与回旋密封装置；第一驱动装置驱动承载台旋转，内喷管在承载台旋转过程中保持静止。本发明有效地解决了石英管在旋转清洗过程中可能发生的倾覆及旋转姿态不稳定的问题，满足了不同直径石英管的清洗与干燥需求。 |
