一种石英玻璃直管清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202111270102.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113953280A | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN113953280A | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | B08B9/027（2006.01）I;B08B9/032（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 华斌;张洋;时新宇 | 申请（专利权）人 | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州友佳知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 储振 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了石英玻璃直管清洗装置，包括清洗罩，与清洗罩活动插接装配的上端盖与下端盖，设置于上端盖内的上承载台，设置于下端盖内的下承载台，独立驱动上承载台与下承载台作同步转动的第一驱动装置与第二驱动装置，驱动上端盖作升降运动的升降机构，竖直向下并延伸过上承载台的上内喷管，及竖直向上并延伸过下承载台的下内喷管；上承载台与下承载台沿竖直方向对向活动夹持石英玻璃直管两端的敞口，上内喷管与下内喷管对向喷射形成与石英玻璃直管内部腔体适配的圆柱状喷射束流。通过本发明，有效地确保了长径比较大的石英玻璃直管在呈竖直姿态执行清洗及干燥过程中旋转的稳定性，有效地去除了粘附在内壁面上的杂质或者晶粒。 |
