旋转式石英管清洗干燥装置
基本信息
| 申请号 | CN202111270255.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113953281A | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN113953281A | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | B08B9/027（2006.01）I;B08B9/032（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 华斌;刘国强;李文轩 | 申请（专利权）人 | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州友佳知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 储振 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了旋转式石英管清洗干燥装置，包括底座，设置于底座内并箍持石英管的唇口的承载台，与承载台活动扣合以整体遮蔽石英管的清洗帽，驱动清洗帽作轴向转动的第一驱动装置，整体驱动清洗帽与第一驱动装置沿竖直方向作升降运动的第二驱动装置，与承载台呈竖直设置并贯穿承载台的内喷管，以及驱动内喷管作轴向转动的第三驱动装置；清洗帽的内壁面设置侧向连续间隔布置的若干第一喷嘴，内喷管设置竖直延伸入石英管内部的若干第二喷嘴，当清洗帽与承载台呈扣合状态以整体遮蔽石英管时，清洗帽被第一驱动装置驱动以执行轴向转动。本发明避免了石英管晃动及清洗干燥过程中对石英管的内外壁面造成划伤问题，并具有更好的清洗效果。 |
