一种用于PECVD炉口进气装置
基本信息
| 申请号 | CN202122491097.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216473475U | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN216473475U | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | C23C16/50（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵科巍;张云鹏;鲁贵林;吕爱武 | 申请（专利权）人 | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 太原市科瑞达专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 046000山西省长治市高新区漳泽新型工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及太阳能电池生产领域，特别是涉及太阳能电池镀膜领域。一种用于PECVD炉口进气装置，包括容器和散气环，容器上壳体和容器下壳体密封连接在一起构成容器，容器上壳体顶部有多个单一气体进气口，容器下壳体与容器上壳体连接的口部有内沿，内沿上安装有混气层，容器下壳体底部通过立柱安装混和气球，混和气球通过管道连接混合气出口；散气环的外壁有连接内外的带内螺纹的第一通孔，PECVD炉口部对应散气环的第一通孔处有第二通孔，第一通孔和第二通孔通过螺纹连接安装混合气进气装置，进气装置通过管道连接混合气出口。 |
