一种解决碱抛SE-PERC电池EL不良的方法
基本信息
| 申请号 | CN202110422738.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113257954B | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN113257954B | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I;H01L31/068（2012.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张志强;王斌;戴大洲;赵晨;蒋万昌 | 申请（专利权）人 | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 太原市科瑞达专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 046000山西省长治市郊区漳泽新型工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及太阳能电池生产领域。种解决碱抛SE‑PERC电池EL不良的方法，扩散过程按如下步骤进行，入舟排空，制绒后的硅片放入石英舟，然后将石英舟放入扩散炉中，通入氮气排除空气；前氧化，前氧化分两步，分别通入不同浓度的氮气和氧气，第一步在硅片表面形成深而疏的氧化层，第二步在第一步的基础上形成密而薄的氧化层；多步扩散和推进；后氧化，后氧化分三步，第一步采用恒温氧化，第二步采用恒温补源氧化，第三步采用低温氧化；出管，测试。 |
