一种PECVD石墨舟存储与下料方法
基本信息
| 申请号 | CN202210286205.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114717537A | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN114717537A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | C23C16/44（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨飞飞;张波;张云鹏;申开愉;李雪方;吕涛 | 申请（专利权）人 | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 太原市科瑞达专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 046000山西省长治市高新区漳泽新型工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及PECVD石墨舟存储及下料领域。一种PECVD石墨舟存储与下料方法，石墨舟的冷却时间从石墨舟反应完置于PECVD石墨舟的搬运区域开始计时，冷却时间Tx代表X编号存储位置上对应石墨舟的冷却时间；将上下料存储区域、进出炉管存储区域位置状态依据有无石墨舟存放设置为1和0，1有，0无；根据PECVD石墨舟的搬运区域的存储区域的位置状态和石墨舟的冷却时间对存储区域上石墨舟进行移动及下料。 |
