低温溅射铜锌锡硒太阳能电池
基本信息
| 申请号 | CN201410013785.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104779318A | 公开（公告）日 | 2015-07-15 |
| 申请公布号 | CN104779318A | 申请公布日 | 2015-07-15 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马给民;保罗比蒂 | 申请（专利权）人 | 东莞日阵薄膜光伏技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 523808 广东省东莞市松山湖科技产业园区工业北四路松山湖工业大厦415、418室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种新型的，属于“锌黄锡矿”类的，“铜锌锡硒”薄膜太阳能电池，与“铜铟镓硒”薄膜太阳能电池的结构十分相近，但它对“铜，锌，锡，硒”的化学成分匹配更为严格，我们使用四元素陶瓷靶，一次性“低温溅射，后硒化”工艺制造的“铜锌锡硒”薄膜太阳能电池，在钠钙玻璃基板上镀有约0.35至1.0微米厚的钼薄膜，在钼薄膜层上镀上约0.7至1.5微米厚的“铜锌锡硒”薄膜，经退火后，结成晶体，在“铜锌锡硫”薄膜晶体上经“化学水浴沉积（CBD）”工艺，沉积“硫化镉”，建立“p-n结”薄膜区域；使用低温溅射，没有“硒”流失的弱点；对大面积，化学成分的均匀性及重复性生产有极大的优势，能促进批量生产。 |
