一种光路准直调试系统和光路准直调试方法
基本信息
申请号 | CN202110385348.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113109030A | 公开(公告)日 | 2021-07-13 |
申请公布号 | CN113109030A | 申请公布日 | 2021-07-13 |
分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 虞天成;徐佳维;王俊;潘华东;俞浩;闵大勇;廖新胜 | 申请(专利权)人 | 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 薛异荣 |
地址 | 215000江苏省苏州市高新区昆仑山路189号科技城工业坊-A区2号厂房-1-102、2号厂房-2-203 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种光路准直调试系统和光路准直调试方法,光路准直调试系统包括:光源;反射式布拉格光栅,所述反射式布拉格光栅的衍射角度可调;位于所述光源和所述反射式布拉格光栅之间的准直透镜,所述准直透镜沿光路上的位置可调;位于所述反射式布拉格光栅一侧的探测单元;所述反射式布拉格光栅适于接收被所述准直透镜准直之后的光并衍射至探测单元。所述光路准直调试系统评判光束的准直性的准确性提高。 |
