一种可调谐垂直腔面发射激光器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110252252.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113054531A | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN113054531A | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | H01S5/183;H01S5/042;H01S5/12;H01S5/062;H01S5/068 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 肖垚;王俊;刘恒;闵大勇 | 申请（专利权）人 | 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 薛异荣 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市高新区昆仑山路189号科技城工业坊-A区2号厂房-1-102、2号厂房-2-203 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种可调谐垂直腔面发射激光器及其制备方法，其中，可调谐垂直腔面发射激光器包括：衬底层；位于所述衬底层上的增益结构；位于所述增益结构背向所述衬底层一侧的光栅层，所述光栅层包括若干栅本体和相邻栅本体之间的光栅缝，所述栅本体的材料为电光材料；位于所述增益结构背向所述衬底层一侧的第一电极层，所述第一电极层适于对所述栅本体加电调制。所述可调谐垂直腔面发射激光器稳定性和可靠性提高。 |
