湿法刻蚀烘干设备
基本信息
| 申请号 | CN201920056415.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209282177U | 公开（公告）日 | 2019-08-20 |
| 申请公布号 | CN209282177U | 申请公布日 | 2019-08-20 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 武慧亮; 高少辉 | 申请（专利权）人 | 包头市山晟新能源有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京律智知识产权代理有限公司 | 代理人 | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址 | 014100 内蒙古自治区包头市土右旗萨拉齐镇新型工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开提供了一种湿法刻蚀烘干设备，属于湿法刻蚀技术领域。该湿法刻蚀烘干设备包括用于设于一作业空间内的烘干装置、空气过滤装置、连接烘干装置的进气口和空气过滤装置的出气口的第一连接管、用于检测第一连接管内的空气中的颗粒物浓度的第一颗粒物检测器、与第一颗粒物检测器连接的控制装置、能在控制装置控制下报警的第一警报装置、风机、连接空气过滤装置的进气口和风机的出气口的第二连接管和多个第三连接管，其中，各第三连接管的出气口均连接风机的进气口；各第三连接管均能伸出作业空间，且进气口能相互隔离地固定于作业空间外；任一第三连接管上设置有阀门。该湿法刻蚀烘干设备能避免酸性空气进入烘干装置污染硅片，保证硅片的良率。 |
