水冷装置及单晶硅生长炉
基本信息
| 申请号 | CN201820384023.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208038587U | 公开（公告）日 | 2018-11-02 |
| 申请公布号 | CN208038587U | 申请公布日 | 2018-11-02 |
| 分类号 | C30B15/00;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈家骏;邹凯;曾世铭;徐由兵;田栋东 | 申请（专利权）人 | 包头市山晟新能源有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京律智知识产权代理有限公司 | 代理人 | 阚梓瑄;王卫忠 |
| 地址 | 014100 内蒙古自治区包头市土右旗萨拉齐镇新型工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出一种水冷装置及单晶硅生长炉。本实用新型的水冷装置用于单晶硅生长炉，包括法兰盘、管道、内导流筒、外导流筒和导流筒夹层。法兰盘，设于炉体顶部，炉盖设于所述法兰盘上，法兰盘设有能与外界连通的进水口和出水口。管道设于炉内并沿竖直方向呈环状，以形成供单晶硅棒伸入的水套，管道的一端与进水口连通，另一端与出水口连通。内导流筒设于水套外部，内导流筒外部还设有外导流筒，内导流筒与外导流筒形成导流筒夹层。使用本实用新型的水冷装置，能提高单晶硅的生长速度，提高产量。 |
