一种晶圆对心装置
基本信息
| 申请号 | CN202021325834.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212907652U | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN212907652U | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐永亮;王均涛;冯微;陈宇超 | 申请（专利权）人 | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京弘权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明;许伟群 |
| 地址 | 321000浙江省金华市金东区康济北街1378号综合楼四楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种晶圆对心装置，包括箱体、测量机构、X‑Z‑θ调整机构以及真空吸附机构，其中，测量机构和X‑Z‑θ调整机构均设置在箱体的内部，测量机构位于X‑Z‑θ调整机构的左侧，真空吸附机构同轴固定在X‑Z‑θ调整机构上，晶圆放置在真空吸附机构上。本实用新型测量机构中的CCD激光传感器，具有能够消除现有激光造成的斑驳、图像清晰、稳定性好、体积小及抗干扰能力强的优点，采用X‑Z‑θ调整机构，使调整机构的结构更加简单，节省了成本，提高了晶圆对准的效率，X‑Z‑θ调整机构中的θ轴中空旋转平台也能够使得晶圆对准精度更高，箱体上设置有支角，可以实现对4寸或6寸不同规格晶圆的对心，适用性更强。 |
