一种用于硅单晶棒切方设备的旋转工作台
基本信息
申请号 | CN202021943322.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213646150U | 公开(公告)日 | 2021-07-09 |
申请公布号 | CN213646150U | 申请公布日 | 2021-07-09 |
分类号 | B23D79/00(2006.01)I;B23Q3/06(2006.01)I | 分类 | 机床;不包含在其他类目中的金属加工; |
发明人 | 徐永亮;张红臣;孙磊 | 申请(专利权)人 | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京弘权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明;许伟群 |
地址 | 321000浙江省金华市金东区康济北街1378号综合楼四楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请提供的用于硅单晶棒切方设备的旋转工作台,包括旋转台板、支撑座、旋转伺服电机、谐波减速机、连接轴、联轴器、驱动轴、旋转轴和交叉滚子轴承,且相互之间配合紧密连接。该工作台在具体工作状态时,伺服电机的旋转运动通过谐波减速机、连接轴、联轴器、驱动轴、旋转轴的一系列传动,最终传递到旋转台板,实现旋转台板的旋转运动。同时,旋转台板底部两侧安装有关于旋转中心对称布置的两块刹车板,固定在支撑座一侧的刹车安装板上设置有刹车装置,当旋转工作台旋转到位后,刹车部件工作,保持旋转工作台的位置不变以及增加旋转工作台的刚性,避免外部扰动对切割质量产生影响,有效解决了传统旋转工作台由于存在反向间隙影响定位精度的问题。 |
