一种用于硅单晶棒切方设备的旋转工作台

基本信息

申请号 CN202021943322.7 申请日 -
公开(公告)号 CN213646150U 公开(公告)日 2021-07-09
申请公布号 CN213646150U 申请公布日 2021-07-09
分类号 B23D79/00(2006.01)I;B23Q3/06(2006.01)I 分类 机床;不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 徐永亮;张红臣;孙磊 申请(专利权)人 浙江昀丰新材料科技股份有限公司
代理机构 北京弘权知识产权代理有限公司 代理人 逯长明;许伟群
地址 321000浙江省金华市金东区康济北街1378号综合楼四楼
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供的用于硅单晶棒切方设备的旋转工作台,包括旋转台板、支撑座、旋转伺服电机、谐波减速机、连接轴、联轴器、驱动轴、旋转轴和交叉滚子轴承,且相互之间配合紧密连接。该工作台在具体工作状态时,伺服电机的旋转运动通过谐波减速机、连接轴、联轴器、驱动轴、旋转轴的一系列传动,最终传递到旋转台板,实现旋转台板的旋转运动。同时,旋转台板底部两侧安装有关于旋转中心对称布置的两块刹车板,固定在支撑座一侧的刹车安装板上设置有刹车装置,当旋转工作台旋转到位后,刹车部件工作,保持旋转工作台的位置不变以及增加旋转工作台的刚性,避免外部扰动对切割质量产生影响,有效解决了传统旋转工作台由于存在反向间隙影响定位精度的问题。