光谱共焦位移传感器
基本信息
| 申请号 | CN202110531567.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113280728A | 公开（公告）日 | 2021-08-20 |
| 申请公布号 | CN113280728A | 申请公布日 | 2021-08-20 |
| 分类号 | G01B9/02（2006.01）I;G01N21/45（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 高培丽 | 申请（专利权）人 | 南京中科神光科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 210038江苏省南京市南京经济技术开发区恒园路龙港科技园A栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光谱共焦位移传感器，宽光谱LED通过光纤耦合器和分束器系统将光分为两条光路，其中第一路光线通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的准单色光，第二路光线直接垂直入射到镜面反射模块，通过计算机对宽光谱LED进行白光归一化处理，提高测量精度，并监控LED随使用时间的衰减，根据衰减定时重新归一化处理光源和积分时间；第一路光线经色散镜头和被测物体反射到光纤光谱仪内的光与第二路光线反射回光纤光谱仪的白光发生干涉，根据干涉条纹的间距进一步更精确的计算距离值。本发明实现单个色散镜头模块初步测量距离值和色散镜头模块与镜面反射模块的干涉光精确测量距离值相结合，提高测量精度。 |
