一种反应烧结碳化硅大舟托的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110911054.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113880582A | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN113880582A | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | C04B35/565（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B41/87（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 王兴龙;赵金;皇甫丙臣;杨凯;王新波 | 申请（专利权）人 | 陕西固勤材料技术有限公司 |
| 代理机构 | 西安西达专利代理有限责任公司 | 代理人 | 刘华 |
| 地址 | 710399陕西省西安市鄠邑区西安沣京工业园沣二东路路北 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种反应烧结碳化硅大舟托的制备方法，素坯分开制作，干燥后精加工，后进行拼接，拼接过程中需要使用工装，烧结过程的变形控制：使用工装进行约束，烧成后的使用白刚玉24‑60目的材料进行粗喷，检测并标记有冷凝硅的地方，精细精品处理。本方案采用反应烧结碳化硅材料代替石英舟托盘，大大的延长了舟托的使用寿命，减少了停机更换频次；碳化硅材质较石英材质的强度高、导热性能好，对产品扩散性更好。素坯精细加工后进行卯榫结构拼接再烧结，使用石墨仿形工装进行支撑和约束，最终达到低成本生产高精度、高性能的反应烧结碳化硅材料的舟托。目前已在市场上批量应用。 |
