一种半导体悬臂桨产品的碳化硅含量提纯、提升方法
基本信息
| 申请号 | CN202210136418.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114409407A | 公开（公告）日 | 2022-04-29 |
| 申请公布号 | CN114409407A | 申请公布日 | 2022-04-29 |
| 分类号 | C04B35/565（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B41/87（2006.01）I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 王兴龙;赵金;皇甫丙臣;马涛;张俊伟;李步军;李信荣;杨凯 | 申请（专利权）人 | 陕西固勤材料技术有限公司 |
| 代理机构 | 西安西达专利代理有限责任公司 | 代理人 | 刘华 |
| 地址 | 710300陕西省西安市鄠邑区西安沣京工业园沣二东路路北 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种半导体悬臂桨产品的碳化硅含量提纯、提升方法，碳化硅原料使用硝酸、氢氟酸、盐酸进行酸洗提纯,烘干；采用有机材质的搅拌锅搅拌原料得到合适的浆料；注浆模具配合的工装表面进行封装，浆料注浆入到处理好的注浆模具中；注浆成型后，干燥后脱模成素坯，修整采用碳化硅砂纸处理；胚体装炉烧结得到碳化硅悬臂桨半成品；出炉后的碳化硅悬臂桨半成品不打磨，使用碳化硅颗粒、干冰进行喷砂处理，将步骤7）处理好的碳化硅悬臂桨半成品通入高纯一甲基三氯硅烷，沉淀形成CVD涂层，得到成品碳化硅悬臂桨。少了金属杂质的引入，提高产品的强度，避免脆断的发生，有效的延长了产品的使用寿命，同时由于减少了金属杂质，可使用于半导体产品中。 |
