一种非接触式超声波面形修抛方法及装置

基本信息

申请号 CN201110361546.6 申请日 -
公开(公告)号 CN102441820B 公开(公告)日 2013-10-09
申请公布号 CN102441820B 申请公布日 2013-10-09
分类号 B24B1/04(2006.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 黄启泰 申请(专利权)人 苏州日高微纳光学精密机械有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 苏州大学;苏州日高微纳光学精密机械有限公司;苏州苏大明世光学股份有限公司
地址 215123 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及小口径脆性高硬度材料的高精度非球面超声波抛光方法,公开了一种非接触式超声波面形修抛方法及其装置。本发明利用圆形振子产生的超声简谐振动在液体中的传播特性对脆性硬质合金材料进行抛光,能够获得高斯型分布的、稳定的材料去除函数。设定覆盖整个被加工表面的抛光路径后,依据所得到的材料去除函数和被加工面的残余误差确定工具头在抛光路径上各点的驻留时间,编制加工程序,输入数控机床,进行修抛加工。本发明结合数控技术对表面不同区域实现材料去除量的精确控制,可以对各种平面、球面、非球面等光学表面进行面形修正抛光,获得高面形精度的光学表面。