一种单晶吸尘泵控制装置
基本信息
| 申请号 | CN200820302773.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201288224Y | 公开（公告）日 | 2009-08-12 |
| 申请公布号 | CN201288224Y | 申请公布日 | 2009-08-12 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 何紫平;胥敬东;丁宇翔 | 申请（专利权）人 | 湖州新元泰微电子有限公司 |
| 代理机构 | 贵阳中新专利商标事务所 | 代理人 | 湖州新元泰微电子有限公司 |
| 地址 | 313009浙江省湖州市南浔区华侨投资区2号路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶吸尘泵控制装置。包括开关电源(S1)，开关电源(S1)的直流输出端“+”极与可编程控制器(IC1)的L端连接，开关电源(S1)的直流输出端“-”极与可编程控制器(IC1)的N端连接；可编程控制器(IC1)上设有一组输出接口、一组输入接口、一组交流电源接口和一组直流电源接口；一组输出接口分别与执行元件和指示元件连接；一组输入接口分别与指令元件和保护元件连接。本实用新型可提高单晶吸尘泵的自动化水平，并可同时控制两套单晶吸尘泵，操作简单。 |
