一种防止单晶炉保护气体管路泄漏的供气装置
基本信息
| 申请号 | CN200820302767.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201305647Y | 公开（公告）日 | 2009-09-09 |
| 申请公布号 | CN201305647Y | 申请公布日 | 2009-09-09 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I;F27D7/00(2006.01)I;F27D7/02(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 何紫平;胥敬东;丁宇翔 | 申请（专利权）人 | 湖州新元泰微电子有限公司 |
| 代理机构 | 贵阳中新专利商标事务所 | 代理人 | 湖州新元泰微电子有限公司 |
| 地址 | 313009浙江省湖州市南浔区华侨投资区2号路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种防止单晶炉保护气体管路泄漏的供气装置。它包括气阀开关(1)，气阀开关(1)的入口与供气管道连接；气阀开关(1)的出口分为两路，分别连接流量调节阀甲(2)和流量调节阀乙(3)的进口；流量调节阀甲(2)的出口经流量计甲(4)与单晶炉连接；流量调节阀乙(3)的出口经流量计乙(5)与单晶炉连接。本实用新型将现有技术中使用的带流量计的流量调节阀分别用技术比较成熟的流量调节阀和流量计替代后，产生了有益的效果，有效的防止了氩气管路的泄漏，提高了单晶生产的成品率。 |
