一种单晶炉冷却供水装置
基本信息
| 申请号 | CN200820302766.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201288083Y | 公开（公告）日 | 2009-08-12 |
| 申请公布号 | CN201288083Y | 申请公布日 | 2009-08-12 |
| 分类号 | C02F1/44(2006.01)I;F27B17/00(2006.01)I | 分类 | 水、废水、污水或污泥的处理; |
| 发明人 | 何紫平;胥敬东;丁宇翔 | 申请（专利权）人 | 湖州新元泰微电子有限公司 |
| 代理机构 | 贵阳中新专利商标事务所 | 代理人 | 刘楠;程新敏 |
| 地址 | 313009浙江省湖州市南浔区华侨投资区2号路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶炉冷却供水装置。包括反渗透装置(2)；自来水经反渗透装置(2)与水箱(1)连接，水箱(1)底部经管道与水泵(3)入口连接，水泵(3)出口经调节阀(5)与单晶炉(4)连接，单晶炉(4)经管道与水箱(1)连接。本实用新型使自来水通过反渗透装置后使用，使冷却水中的碳酸钙和氯根离子的含量大大减少，可以降低单晶炉水循环通道中的水垢沉积，减小对单晶炉水循环通道的腐蚀。另外在供水装置中还增加了水泵，提高了循环水在单晶炉的水循环通道中的流速，明显的提高了冷却效果；由于水垢沉积的减少，也降低了设备维护费用和设备维护所占用的生产时间，提高了生产效率。 |
