一种单晶炉加热器底盘

基本信息

申请号 CN200820302772.0 申请日 -
公开(公告)号 CN201305649Y 公开(公告)日 2009-09-09
申请公布号 CN201305649Y 申请公布日 2009-09-09
分类号 C30B15/18(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 何紫平;胥敬东;丁宇翔 申请(专利权)人 湖州新元泰微电子有限公司
代理机构 贵阳中新专利商标事务所 代理人 刘 楠;程新敏
地址 313009浙江省湖州市南浔区华侨投资区2号路
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单晶炉加热器底盘。包括底盘(1);底盘(1)上设有两个电极孔(2),两个电极孔(2)的间距为450~470mm。与现有技术相比,现有的单晶炉加热器底盘上的两个电极孔距离较远,一般为680mm左右,功耗较大。本实用新型将两个电极孔的距离缩小为460mm左右,可有效降低单晶炉的能耗。改进后耗费功率可以降低大约10个千瓦。