一种单晶棒切断机的冷却供水装置

基本信息

申请号 CN200820302765.0 申请日 -
公开(公告)号 CN201287408Y 公开(公告)日 2009-08-12
申请公布号 CN201287408Y 申请公布日 2009-08-12
分类号 B28D7/02(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 何紫平;胥敬东;丁宇翔 申请(专利权)人 湖州新元泰微电子有限公司
代理机构 贵阳中新专利商标事务所 代理人 湖州新元泰微电子有限公司
地址 313009浙江省湖州市南浔区华侨投资区2号路
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单晶棒切断机的冷却供水装置。它包括水箱(1),水箱(1)中有水(2),水箱(1)的底部经管道与水泵(3)的入口连接,水泵(3)的出口经管道与喷头(4)连接,喷头(4)的下方设有接水盘(5),接水盘(5)经管道与水箱(1)连接;水(2)为纯净水。本实用新型采用纯净水循环为单晶棒切断机的冷却供水,并增加水泵,提高了冷却水压力的稳定性,可以提高单晶片切割端面的平整度,由于纯净水对切割刀片的腐蚀作用小,因此可大大延长切割刀片的使用寿命。