一种金属氮化物晶须的生长方法
基本信息
| 申请号 | CN201811014736.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109137078A | 公开（公告）日 | 2019-11-12 |
| 申请公布号 | CN109137078A | 申请公布日 | 2019-11-12 |
| 分类号 | C30B29/40;C30B29/62;C30B25/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 江苏贝肯新材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 246702 安徽省铜陵市枞阳县迎宾大道连城湖大桥北盛世龙城14号楼502室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种在衬底上生长金属氮化物晶须的方法，具体为：在衬底上沉积金属氧化物薄膜，以该氧化物薄膜作为模板，将含Ni溶液均匀喷洒在氧化物薄膜上，形成催化剂液滴层，通入氮气或氨气中的至少一种，在模板层上可控地原位生长出金属氮化物晶须。本发明在MOCVD法中原位引入Ni催化剂，不需要将衬底在不同设备间转移及清洗的繁琐流程，并且有效避免样品在转移过程中造成的玷污，收率高达85％以上，易于实现规模化工业生产。 |
