一种PECVD特气管路
基本信息
| 申请号 | CN201920978763.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210560740U | 公开（公告）日 | 2020-05-19 |
| 申请公布号 | CN210560740U | 申请公布日 | 2020-05-19 |
| 分类号 | C23C16/455;C23C16/50;H01L31/18 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵洪俊;宛正 | 申请（专利权）人 | 阜宁苏民绿色能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 阜宁苏民绿色能源科技有限公司 |
| 地址 | 224400 江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型为太阳电池领域，具体涉及一种PECVD特气管路，包括特气管，与其相连通的管道组件，所述特气管上均匀开设气孔；所述气孔面积相同，呈直线排列，其开孔方向面向硅片；所述管道组件包括相连通的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件和三通接头；所述气孔包括气孔本体和气流引导装置，所述气流引导装置位于气孔本体外侧，所述气流引导装置从上到下横截面逐渐缩小，包括第一引导装置和第二引导装置，所述第一引导装置位于第二引导装置下方，所述第二引导装置的高度为第一引导装置的一半。本实用新型所述的PECVD特气管路能够优化气流的均匀性，减少生产过程中的气孔堵塞，降低设备维护成本。 |
