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一种去除硅片油污的方法

基本信息

申请号 CN201910608069.5 申请日 -
公开（公告）号 CN110416064A 公开（公告）日 2021-07-16
申请公布号 CN110416064A 申请公布日 2021-07-16
分类号 H01L21/02;H01L31/18;H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 樊选胜;宛正;缪云展;曹磊 申请（专利权）人 阜宁苏民绿色能源科技有限公司
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 董建林
地址 224400 江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种去除硅片油污的方法，首先对硅片进行烘烤处理，能够通过高温烘烤将主要油污炭化，油污的主要成分就是有机物，有机物在高温通氧的情况下会发会发生氧化反应，产生二氧化碳、水。碱性清洗剂溶液能够与残留在硅片表面的金属粉末反应并将其溶解，然后用水清洗太阳能电池硅片，进而能够去除残留在太阳能电池硅片表面的金属粉末。双氧水溶液能够将残留在太阳能电池硅片表面的有机溶剂氧化并将其溶解；然后用水清洗太阳能电池硅片，进而能够去除残留在太阳能电池硅片表面的有机溶剂。然后在用水清洗、烘干得较干净的太阳能电池硅片，硅片油污被有效去除、硅片无需降级处理，有效提高了硅片生产效率。