一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置
基本信息
| 申请号 | CN202022593793.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213708476U | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN213708476U | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | C23C16/44（2006.01）I;B08B9/032（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郭庚森 | 申请（专利权）人 | 阜宁苏民绿色能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董建林 |
| 地址 | 224400江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于镀膜设备尾排管路的清理装置，其特征在于：加装在镀膜设备反应腔尾部和尾排管路之间，包括侧壁开设有分支管的管道一、管道二、止回阀和电磁阀，所述管道一的主管的一端与所述的尾排管路相连，另一端通过所述的止回阀与设备反应腔尾部相连，所述的管道二用于通入N2气流，所述的管道二通过所述的电磁阀与所述的管道一相通。采用本实用新型的装置能够在不拆除尾气管路和设备停机运行的前提下定期的对尾气管路进行疏通，能够有效的清除管路腔体中的固体沉积物，解决管路堵塞的危险。 |
