一种辅助清洗提拉设备
基本信息
| 申请号 | CN202120550347.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214719199U | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN214719199U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | B08B11/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 郭城;吕明;李充;郭英云;高悦 | 申请（专利权）人 | 山东科芯电子有限公司 |
| 代理机构 | 山东瑞宸知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王萍 |
| 地址 | 250200山东省济南市章丘明水经济开发区明埠路中段东面 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及清洗辅助设备的技术领域，公开了一种辅助清洗提拉设备，包括提拉装置、花篮承载盘和清洗槽，所述提拉装置固定连接清洗槽两侧，所述花篮承载盘置于清洗槽内部；所述提拉装置包括支撑板、控制电源箱、旋转轴、凸轮和电动推杆；所述花篮承载盘底部连接有护板，所述护板上设置有若干个通孔，所述护板四角处固定向上连接设有保护柱；所述清洗槽为中空无盖长方体结构。本实用新型通过控制电源箱控制电动推杆上下运动，从而控制清洗槽内花篮承载盘的提拉过程，可以根据工艺需求调整提拉速度以及频率，减少人为因素造成的影响使得清洗后的的晶片良率和一致性更好。 |
