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一种喷淋清洗装置

基本信息

申请号 CN202120155725.3 申请日 -
公开（公告）号 CN214417134U 公开（公告）日 2021-10-19
申请公布号 CN214417134U 申请公布日 2021-10-19
分类号 B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 郭城;吕明;李充;郭英云;高悦 申请（专利权）人 山东科芯电子有限公司
代理机构 山东瑞宸知识产权代理有限公司 代理人 王萍
地址 250200山东省济南市章丘明水经济开发区明埠路中段东面
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及半导体晶片清洗的技术领域，公开了一种喷淋清洗装置，其特征在于：包括清洗液罐和清洗罐，所述清洗液罐与清洗罐连通有清洗液管；所述清洗罐顶部连通有密封盖，所述密封盖上连通有排风管，所述清洗液管贯穿于清洗罐上部，所述清洗液管连通有喷液管，所述喷液管连接有喷头，所述清洗罐内设置有花篮，所述花篮底部支撑有支撑块，所述支撑块置于清洗罐底部，所述花篮内底部设有晶片固定装置。本实用新型使用喷淋方式进行晶片清洗，且晶片置于花篮内，花篮底部有支撑块，能够保证清洗液在与晶片接触时浓度的一致性；加装排气管、密封盖以及排液口可以减少清洗过程中溶液的外溅以及溶液蒸汽对人体和环境的危害。