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一种晶片清洗加热石英缸

基本信息

申请号 CN202120098658.6 申请日 -
公开（公告）号 CN214391387U 公开（公告）日 2021-10-15
申请公布号 CN214391387U 申请公布日 2021-10-15
分类号 B08B3/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 郭城;吕明;李充;郭英云;高悦 申请（专利权）人 山东科芯电子有限公司
代理机构 山东瑞宸知识产权代理有限公司 代理人 王萍
地址 250200山东省济南市章丘明水经济开发区明埠路中段东面
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种晶片清洗加热石英缸，包括石英缸和与其配合的石英缸盖，所述石英缸为正六面箱体结构，石英缸的四个侧面和底部均布有加热丝一，所述石英缸的底部内侧设置有十字凸起，所述石英缸的底部由十字凸起均分成四个区域，四个区域内均设置有硅片花篮，所述十字凸起为中心断开结构，所述十字凸起的断开处设有废液排液口，所述十字凸起内部布有加热丝二，所述石英缸盖与石英缸活动连接，所述石英缸盖顶部一侧设有排气管。本实用新型在石英缸的底部增设内部布有加热丝的十字凸起，加热面积增加，提高了加热效率；设置带有排气管的石英缸盖，在一定程度上起到了保温的作用，降低了生产能耗。