一种硅片涂胶操作台
基本信息
| 申请号 | CN201820747960.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208712051U | 公开（公告）日 | 2019-04-09 |
| 申请公布号 | CN208712051U | 申请公布日 | 2019-04-09 |
| 分类号 | B05C1/06（2006.01）I; B05C13/02（2006.01）I; G03F7/16（2006.01）I; H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 郭城; 吕明; 王永超; 郭英云 | 申请（专利权）人 | 山东科芯电子有限公司 |
| 代理机构 | 青岛高晓专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄晓敏 |
| 地址 | 250200 山东省济南市章丘明水经济开发区明埠路中段东面 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于电子元器件技术领域，具体涉及一种硅片涂胶操作台；其结构包括操作台、载柱托板、驱动装置、晶片载柱和刮抹机构；所述的操作台为长方体结构，其上表面均匀设置有若干个与晶圆片直径相同的圆孔；操作台内部设置有载柱托板；载柱托板下表面与驱动装置固定连接，驱动装置固定设置在操作台内部底面；载柱托板上表面固定设置有与圆孔数量相同且等高的晶片载柱；晶片载柱的直径与圆孔的直径相同；刮抹机构设置在操作台的上表面，用于刮抹操作台上的光刻胶；该操作台采用晶片载柱与操作台上圆孔的配合使用，利用刮抹机构刮抹，提高了晶圆片的涂胶质量和生产效率，减少浪费，提高光刻胶利用率，大大减轻了工作人员的劳动强度。 |
