一种湿法蚀刻装置用机械吊臂
基本信息
| 申请号 | CN201820660368.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208700441U | 公开（公告）日 | 2019-04-05 |
| 申请公布号 | CN208700441U | 申请公布日 | 2019-04-05 |
| 分类号 | B66C23/16（2006.01）I; B66C23/62（2006.01）I; B66C23/82（2006.01）I; B66C3/04（2006.01）I | 分类 | 卷扬；提升；牵引; |
| 发明人 | 郭城; 吕明; 王永超; 郭英云 | 申请（专利权）人 | 山东科芯电子有限公司 |
| 代理机构 | 青岛高晓专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄晓敏 |
| 地址 | 250101 山东省济南市章丘明水经济开发区明埠路中段东面 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种湿法蚀刻装置用机械吊臂，包括底座、旋转机构、旋转杆、液压缸二、摇臂杆、升降杆、抓手、液压缸三，所述旋转机构固定在底座上，所述旋转杆与摇臂杆销轴铰接；所述液压缸二一端固定于旋转杆上，另一端固定于摇臂杆上；所述摇臂杆与升降杆销轴铰接；所述抓手与升降杆销轴铰接；所述液压缸三一端固定于升降杆上，另一端固定于抓手上。通过底座处设置旋转机构，使得机械吊臂能在一定范围内旋转，实现工序之间和不同工位之间的衔接，并通过升降液压缸控制升降；抓手不但能抓取盛放半导体硅片的花篮，并能在需要时将花篮放开。 |
