一种硅溶胶及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111376278.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113912070A | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN113912070A | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | C01B33/141（2006.01）I;B82Y30/00（2011.01）I;B82Y40/00（2011.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 李小龙;李清涛;潘晓峰;肖桂林;朱顺全 | 申请（专利权）人 | 湖北鼎龙控股股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 430057湖北省武汉市经济技术开发区东荆河路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体化学机械抛光技术领域，具体公开一种结构致密且粒径均一的硅溶胶及其制备方法。本发明的硅溶胶，二氧化硅胶体粒子分散在液体溶剂中，二氧化硅胶体粒子的真实密度为2.1～2.2g/cm3，二氧化硅胶体粒子表面的硅烷醇基密度为1.0‑3.0个/nm2，真实密度高，硅烷醇基含量低，是一种高纯、粒径均一的硅溶胶。 |
