一种激光芯片老化处理设备及其芯片夹具

基本信息

申请号 CN201921979533.3 申请日 -
公开(公告)号 CN211928087U 公开(公告)日 2020-11-13
申请公布号 CN211928087U 申请公布日 2020-11-13
分类号 G01R31/28(2006.01)I 分类 -
发明人 薛银飞 申请(专利权)人 天津市菲莱科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 300381天津市滨海新区天津滨海-中关村科技园东海路1019号310-7室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种激光芯片老化处理设备及其芯片夹具,后者包括依次叠放连接的热忱板、金属层板、定位板和顶板,定位板上开设有芯片槽,芯片槽内以可移动的方式设置有拨板,芯片放置在芯片槽的内部时,拨板使得芯片的外表面抵靠在芯片槽的槽壁上。上述定位板上开设有与芯片形状相适配的芯片槽,芯片槽的尺寸大于芯片的尺寸,拨板可在芯片槽的内部移动,在进行芯片定位时,芯片被放置到芯片槽的内部,拨板与芯片的外表面相抵靠,并且推动芯片移动,使得芯片与芯片槽的槽壁相抵靠,此时,拨板朝向芯片的侧面和芯片槽与芯片接触的槽壁对芯片进行限位,实现对芯片在X轴方向和Y轴方向的限位,使得芯片定位准确,芯片的测试精度得到保证。