一种碳酸钙/二氧化硅核壳型纳米复合磨料及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202010722551.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111925731A | 公开（公告）日 | 2020-11-13 |
| 申请公布号 | CN111925731A | 申请公布日 | 2020-11-13 |
| 分类号 | C09G1/02(2006.01)I | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 刘卫丽;冯道欢;宋志棠 | 申请（专利权）人 | 上海新安纳电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海泰能知识产权代理事务所 | 代理人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海新安纳电子科技有限公司;浙江新创纳电子科技有限公司 |
| 地址 | 200050上海市长宁区长宁路865号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种碳酸钙/二氧化硅核壳型纳米复合磨料及其制备方法和应用，所述复合磨料以碳酸钙纳米颗粒为核，二氧化硅颗粒为壳。本发明具有独特的结构和性能，相比纯硅溶胶而言，对硅片、氧化硅片、二氧化硅层、氮化硅层等介质层材料的抛光速率更快；相比氧化铝磨料而言，对介质层材料的抛光后的表面质量更好，具有良好的应用前景。 |
