一种SiC晶圆抛光液及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202010620169.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111748287A | 公开（公告）日 | 2020-10-09 |
| 申请公布号 | CN111748287A | 申请公布日 | 2020-10-09 |
| 分类号 | C09G1/02(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 汪为磊;刘卫丽;霍军朝;宋志棠;许永辉 | 申请（专利权）人 | 上海新安纳电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海泰能知识产权代理事务所 | 代理人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海新安纳电子科技有限公司;浙江新创纳电子科技有限公司 |
| 地址 | 200050上海市长宁区长宁路865号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种SiC晶圆抛光液及其制备方法和应用，按重量百分比，包括如下组分：液相载体35‑90％；磨料颗粒0.01‑40％；氧化剂0.01‑30％。本发明通过选择合理的磨料颗粒和氧化剂并进行合理组合，使得抛光液的抛光质量、抛光速率亦获得很大提升；制备方法简单，成本低，具有良好的应用前景。 |
