静电吸盘氦漏固定夹具
基本信息
| 申请号 | CN202022635293.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213336657U | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN213336657U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | G01M3/20（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张巍;马俊峰;朱顺存 | 申请（专利权）人 | 浙江新纳陶瓷新材有限公司 |
| 代理机构 | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 | 代理人 | 林君勇 |
| 地址 | 322118浙江省金华市东阳市横店工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种静电吸盘氦漏固定夹具，包括固定圆盘，所述固定圆盘的上端面上设有第一密封圈和与第一密封圈同轴设置的第二密封圈，所述固定圆盘的轴心处设有用于抽真空且上下贯穿固定圆盘的通孔，所述固定圆盘上还设有多个用于供电线穿过的穿孔。本实用新型具有密封性好，可适用多种规格型号的静电吸盘，操作简单且高效等特点。 |
