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静电吸盘加热器

基本信息

申请号 CN202022635404.1 申请日 -
公开（公告）号 CN214154866U 公开（公告）日 2021-09-07
申请公布号 CN214154866U 申请公布日 2021-09-07
分类号 H05B3/02（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 张巍;马俊峰;朱顺存 申请（专利权）人 浙江新纳陶瓷新材有限公司
代理机构 杭州斯可睿专利事务所有限公司 代理人 林君勇
地址 322118浙江省金华市东阳市横店工业区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种静电吸盘加热器，包括用于加热静电吸盘工件的加热盘，所述加热盘通过电线与温度控制器连接；上述加热盘的设置，无需使用烘箱加热，可以对加热盘进行加热，从而可以通过加热盘与静电吸盘工件的局部接触实现对静电吸盘工件上指定部位的加热，避免静电吸盘工件的整体温度偏高，避免损伤静电吸盘其他部件，且接触式加热大大提高了产品的加热效率，同时加热盘可以适用各类型号静电吸盘尺寸规模，而温度控制器的设置，可以保证对加热盘的加热稳定，升温速率快，可以对加热盘进行恒温控制，且在对加热盘加热后可以直接进行工件拆解，从而可以降低能源的损耗。本实用新型具有加温效率高且能耗低等特点。