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一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶

基本信息

申请号 CN202021914747.5 申请日 -
公开（公告）号 CN213090881U 公开（公告）日 2021-04-30
申请公布号 CN213090881U 申请公布日 2021-04-30
分类号 G01F19/00;H01L21/67;B08B3/08;B08B13/00 分类 测量；测试;
发明人 韩云霄;杨波;李战国 申请（专利权）人 麦斯克电子材料股份有限公司
代理机构 洛阳公信知识产权事务所（普通合伙） 代理人 卫煜睿
地址 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶，重力计量桶位于化学液供液系统和清洗设备之间，化学液供液系统通过进液管与重力计量桶的顶部相连通，重力计量桶的底部通过注液管道与清洗设置连接，注液管道上设置有电子阀，通过清洗设备药液信号控制电子阀的开关，在重力计量桶的顶部中心还设置有排气口，位于重力计量桶一侧设置有连通计量桶顶部和底部的透明液位管，位于透明液位管管道的上部及底部分别设置有工作液位传感器以及下限位传感器，在重力计量桶的桶身外壁上还设置有刻度标识，该装置使化学液计量更加精准，且能耗更低，稳定性更好，为清洗工艺稳定性提供有利条件。