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一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构

基本信息

申请号 CN202020676164.7 申请日 -
公开（公告）号 CN212584047U 公开（公告）日 2021-02-23
申请公布号 CN212584047U 申请公布日 2021-02-23
分类号 F15B15/02(2006.01)I; 分类 流体压力执行机构；一般液压技术和气动技术;
发明人 贾波;牛海涛;郭光灿;马龙峰;张明亮 申请（专利权）人 麦斯克电子材料股份有限公司
代理机构 洛阳公信知识产权事务所（普通合伙） 代理人 陈佳丽
地址 471000河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
法律状态 -

摘要

摘要 一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构，涉及硅片陶瓷盘的取料输送装置技术领域，包括上层机架、中间机架和底层机架，中间机架位于底层机架和上层机架之间，底层机架上平行设有2条直线导轨，中间机架通过底层机架上的直线导轨在底层机架上滑动；中间机架包括对称设置的两条滑轨，两条滑轨之间通过位于滑轨一端的连接板固定连接，气缸的伸出轴与连接板连接，上层机架通过其底部设置的轴承与滑轨配合实现上层机架在中间机架上的滑动。本实用新型有益效果：本实用新型以钢丝为行程放大机构，结构简单，运动行程大，解决了抛光生产过程中对载体陶瓷盘进行取料困难的问题，实现了陶瓷盘取料机构的轻便化，为其它抛光设备取料提供了有效的解决方案。