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一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置

基本信息

申请号 CN202020948851.X 申请日 -
公开（公告）号 CN211858609U 公开（公告）日 2020-11-03
申请公布号 CN211858609U 申请公布日 2020-11-03
分类号 H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 寇文辉;苗利刚;胡晓亮 申请（专利权）人 麦斯克电子材料股份有限公司
代理机构 洛阳公信知识产权事务所（普通合伙） 代理人 麦斯克电子材料股份有限公司
地址 471000河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
法律状态 -

摘要

摘要 一种POLY‑Si卧式背封炉用立式石英舟装置，包括上挡板、硅片支撑槽棒、硅片定位槽棒和下支撑挡板，所述上挡板和所述下支撑挡板上下对应设置，上挡板和下支撑挡板之间设有所述硅片支撑槽棒和所述硅片定位槽棒，硅片支撑槽棒和硅片定位槽棒的顶端均通过焊接方式连接上挡板，硅片支撑槽棒和硅片定位槽棒的底端均通过焊接方式连接下支撑挡板。本实用新型通过下支撑挡板实现石英舟在桨上稳定放置，通过四根槽棒实现硅片的水平放置，通过定位槽棒实现硅片在石英舟中的定位，并且保持竖直时的间距一致，实现自动装片，通过本实用新型所述的石英舟装置，可使用原卧式石英舟倒片器的通用，有效解决了原卧式石英舟加工存在的不足。