一种硅片扩散炉
基本信息
| 申请号 | CN202122790126.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216514265U | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN216514265U | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | C30B31/10（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 郭城;吕明;李充;王永超 | 申请（专利权）人 | 济南科盛电子有限公司 |
| 代理机构 | 山东瑞宸知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 250200山东省济南市章丘市明水经济开发区明埠路中段西面 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片扩散炉，包括炉体，所述炉体的内底部设置有转动机构，所述转动机构的外部对称套设有轴套，所述轴套的两侧固定连接有安装架，所述安装架的内部安装有硅片主体，所述安装架的外表面上对称设置有锁紧螺栓，所述炉体的侧壁上设置有加热装置。本实用新型中，利用电机带动转轴进行转动，转轴转动时可带动主动轮进行转动，主动轮通过皮带的设置可带动从动轮进行转动，从动轮转动时可带动转杆进行转动，转杆转动时可使得安装架上硅片发生转动，当通入的气体与硅片反应时，可保证硅片各处能够进行反应，使得对硅片扩散的更加均匀，效果更好。 |
